권취 스퍼터 장치 - 록기연 RVS-W-510-A
제품 사양
메이커 록기연
모델 RVS-W-510-A
카테고리 반도체(전공정)
연식 2011
외부 치수 W4750 D5900 H2700
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 N80463
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 록기연 RVS-W-510-A입니다. 외형 치수는 W4750 D5900 H2700입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(록기연) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
권취부:폭 510mm, 두께 50μm~125μm
마그네트론 캐소드 3기(5인치 x28인치 각형)
스퍼터 전원 : 20Kw 2 식, 10Kw 1 식
가열 온도 : 200 ℃ 자석 : 400G
고주파 전원 : 0.75Kw
표적 분할 상자: 550mmx180mm
전처리실:550mmx72mm 타겟 기재 100mm
진공조내 치수:W1050xD1250xH1700
사용 가능한 코어 테이퍼 콘 3 인치 · 6 인치
3φ200V 50Hz 130Kw
사용 가스:Ar N2
첨부파일
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