에칭 장치 - 알백 CE-L
제품 사양
메이커 알백
모델 CE-L
카테고리 반도체(전공정)
연식 2013
외부 치수 W800 D2550 H1400
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 NC0854
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 알백 CE-L입니다. 외형 치수는 W800 D2550 H1400입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(알백) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
6인치 트레이(대응 기판 140mm 이내)/5장
공정실 W750 D500 H150m RIE 플라즈마 방식
캐소드 커플링 타입・전극 직치 타입
RF 전원 : 300W 3φ 200V 50/60HZ 사용 가스 : Ar, O2, SF6
첨부파일
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