에칭 장치 - 알백 NE-701
제품 사양
메이커 알백
모델 NE-701
카테고리 반도체(전공정)
연식 2007
외부 치수 W1300 D2400 H2000
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 NC1074
기계 사양
3상:200V 19.9kVA 50/60Hz
기판 크기:Φ6 인치
공정 가스:O2,Ar,Cl2,BCl3 각 100sccm
P-N2, 냉각용: He
전원: ANTRNNA:RF1000W,BIAS:RF300W
배치/매엽: 배치식
기판 유지 방법: ESC 척
【부속품】
・드라이 펌프 HR60
・로터리 펌프 D-650DK
・칠러 CA-1112
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 알백 NE-701입니다. 외형 치수는 W1300 D2400 H2000입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(알백) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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