스퍼터 장치 - 아넬바 SPC-540H
제품 사양
메이커 아넬바
모델 SPC-540H
카테고리 반도체(전공정)
연식 1984
외부 치수 (本体)W1650 D1350 H2180
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 NC1184
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 아넬바 SPC-540H입니다. 외형 치수는 (本体)W1650 D1350 H2180입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(아넬바) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
전원: 200V 75A 60Hz
냉각수: 3kgf/㎠ 22L
공압：5㎏f/㎠
RF 전원：PRF-503 2대→1대는 전환기 부착(아넬바)
DC 전원: PDC087B(아넬바)
MP：CAP-121 (아넬바)
타겟 사이즈：□약 130 mm×380 mm
대상 수 : 4
사용 가스: Ar, O2
성막 방식: 스퍼터 SIDE
첨부파일
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