플라즈마 클리너 - 야마토 과학 PDC210
제품 사양
메이커 야마토 과학
모델 PDC210
카테고리 반도체(후공정)
외부 치수 W800 D660 H1350
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 O51100
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(후공정) 제품, 야마토 과학 PDC210입니다. 외형 치수는 W800 D660 H1350입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(야마토 과학) 및 동일 카테고리(반도체(후공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
플라즈마 모드 RIE (DP 모드 옵션)
전극 구조 평행 평판(전극간 고정)
고주파 출력 MAX.500W
발진 주파수 13.56MHz 수정 발진
스테이지 치수 W250×D170mm
챔버 재질 알루미늄제
반응 가스: 아르곤
입력: AC200V3φ 50/60Hz
안치수 W400 D250 H150
진공 펌프: PASCAL2021SD
첨부파일
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