건식 에칭 장치 - 쇼와 진공 SPE-2010
제품 사양
메이커 쇼와 진공
모델 SPE-2010
카테고리 반도체(전공정)
연식 2015
외부 치수 （本体）W1000 D1100 H1600
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 O51173
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 쇼와 진공 SPE-2010입니다. 외형 치수는 （本体）W1000 D1100 H1600입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(쇼와 진공) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
전원:φ3 200V 16.7KVA 60Hz
냉각수: 0.2Mpa 0.96㎥/h
공압: 0.5Mpa
RF 전원: 13.56MHz (Max500W)
MP：VG203VA / 오사카 진공(2.7x10 －3Pa 이하 )
기판 사이즈:φ3 인치(오리후라)
사용 가스: He, O2, CHF3
에칭 방식: 반응성 에칭
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
