오토 스핀 코터 - 에이블 (미크로 기술 연구소) NSC-220H
제품 사양
메이커 에이블 (미크로 기술 연구소)
모델 NSC-220H
카테고리 반도체(전공정)
외부 치수 WW1400D1400H1700
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 O51224
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 에이블 (미크로 기술 연구소) NSC-220H입니다. 외형 치수는 WW1400D1400H1700입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(에이블 (미크로 기술 연구소)) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
대응 워크:3 인치
【구성】
・HMDS 도포 유닛 2기
・핫 플레이트 1기
・쿨링 플레이트 1기
컵 직경:φ220mm
시료대:φ30mm
회전 가능 범위:30~5000rpm
약액 노즐: 스윙 노즐
약액 계통:5 계통(레지스트 x2 린스 x1HMDSx2)
핫 플레이트: 150x150xt20
전원: 3상 200V 30KVA
배기설비 별도 필요(5계통)
약액 내각 크기: W1750D300H1000
캐스터 무거운
첨부파일
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