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오토 스핀 코터 - 에이블 (미크로 기술 연구소) NSC-220H

제품 사양

메이커 에이블 (미크로 기술 연구소)

모델 NSC-220H

카테고리 반도체(전공정)

외부 치수 WW1400D1400H1700

상태 중고

전시장 정보

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 및 문의

가격 가격 문의

문의 번호 O51224

제품 개요

ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 에이블 (미크로 기술 연구소) NSC-220H입니다. 외형 치수는 WW1400D1400H1700입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(에이블 (미크로 기술 연구소)) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.

기계 사양

대응 워크:3 인치

【구성】

・HMDS 도포 유닛 2기

・핫 플레이트 1기

・쿨링 플레이트 1기

컵 직경:φ220mm

시료대:φ30mm

회전 가능 범위:30~5000rpm

약액 노즐: 스윙 노즐

약액 계통:5 계통(레지스트 x2 린스 x1HMDSx2)

핫 플레이트: 150x150xt20

전원: 3상 200V 30KVA

배기설비 별도 필요(5계통)

약액 내각 크기: W1750D300H1000

캐스터 무거운

첨부파일

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에이블 (미크로 기술 연구소) NSC-220H 오토 스핀 코터 - ASKINDEX 코리아

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