스퍼터 장치 - 알백 SH-450
제품 사양
메이커 알백
모델 SH-450
카테고리 반도체(전공정)
연식 1995
외부 치수 W1900D1400H1800
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 O60881
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 알백 SH-450입니다. 외형 치수는 W1900D1400H1800입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(알백) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
전원 3상 200V, 33.2 kvA
스퍼터링 방식 : 업 타겟
치수 Φ152.4㎜×t6
기판 장착 매수 □4”,Φ4”,Φ3”
기판용 서브홀더 총 5개/배치
기판 전극 Φ450㎜
수냉 턴테이블
RF 전원 13.56MHz
출력 2.0㎾
DC 전원 4㎾
MFC(Ar,N2,O2,H2)
첨부파일
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