스퍼터 장치 - 캐논 아넬바 E-400
제품 사양
메이커 캐논 아넬바
모델 E-400
카테고리 반도체(전공정)
연식 2006
외부 치수 W1450 D1600 H1900
상태 중고
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 P10330
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 캐논 아넬바 E-400입니다. 외형 치수는 W1450 D1600 H1900입니다. 엔잔 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(캐논 아넬바) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
성막 치수:Maxφ200mm
타겟 치수:φ101mm
기판 가열: Max300℃
DC 전원 : 2.5kWRF 전원 : 1.2kW
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz 100A
첨부파일
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