에칭 장치 - 삼코 RIE-230iPC-AT
제품 사양
메이커 삼코
모델 RIE-230iPC-AT
카테고리 반도체(전공정)
연식 2023
외부 치수 (本体)W1210 D2100 H2100
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 P31176
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 삼코 RIE-230iPC-AT입니다. 외형 치수는 (本体)W1210 D2100 H2100입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(삼코) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
【전원】φ3 200V 50Hz 75A 【고주파 전원】13.56MHz ICP측 500W BIAS측 300W 【클램프】정전 흡착 방식/4inch
【가스종】Ci2/50ccm Ar/100ccm BCl3/50ccm O2/100ccm 【배기계】터보 펌프(330L/s) TG350FVAB/오사카 진공 드라이 펌프(1500/s) 【저온 항온수 순환 장치】NCC-3100/도쿄 리화 계기
첨부파일
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