에칭 장치 - 삼코 RIE-300NR
제품 사양
메이커 삼코
모델 RIE-300NR
카테고리 반도체(전공정)
연식 2007
외부 치수 W850 D2050 H2100（本体）
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 P31177
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 삼코 RIE-300NR입니다. 외형 치수는 W850 D2050 H2100（本体）입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(삼코) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
전원：φ3 200V 50/60Hz 50A
고주파 전원: 13.56MHz 1kw
석영 트레이:3inch×9장(1 배치) 4inch×6장(1 배치)
가스종:O2/500ccm Ar/200ccm CF4/200ccm
N2 가스: 0.1MPa 1/4inch SWL
공기: 0.5MPa 1/4inch SWL
배기계：터보 펌프(1000L/s) 시마즈 제작소
드라이 펌프(1300/s) 가루야마 공업
첨부파일
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