플라즈마 CVD 장치 - 알백 CC-200（SiH4）
제품 사양
메이커 알백
모델 CC-200（SiH4）
카테고리 반도체(전공정)
연식 2007
외부 치수 W約800 D2300 H2000（本体）W1000 D1000 H1200（ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ+ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ）W800 D550 H1600（ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ型除害塔）
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 P31178
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 알백 CC-200（SiH4）입니다. 외형 치수는 W約800 D2300 H2000（本体）W1000 D1000 H1200（ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ+ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ）W800 D550 H1600（ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ型除害塔）입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(알백) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
전원：φ3 200V 15kVA
고주파 전원: 27.12MHz 0.5kw
반송 트레이 사이즈:25㎝x25㎝
기판 사이즈:3inch×5장(1 배치)
가스종:O2/100ccm SiH4/Ar(20%)/250ccm CF4/500ccm
NH3/200ccm N2/1000ccm
N2O/2000ccm N2O/500ccm
배기계：메카니르부스타 펌프＋드라이 펌프
제해 장치：VEGACLEAN JGS45S형 태양 닛산
W1000 D1000 H1200 (드라이 엠프 + 메카르 버스 태핑 앰프) W800 D550 H1600 (키비넷 형 제해탑)
첨부파일
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