ICP 에칭 장치 - 스미토모 정밀 공업 MUC-21-036
제품 사양
메이커 스미토모 정밀 공업
모델 MUC-21-036
카테고리 반도체(전공정)
연식 2004
상태 중고
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 Q20313
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 스미토모 정밀 공업 MUC-21-036입니다. 엔잔 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(스미토모 정밀 공업) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
공정 챔버는 Si 트렌치 에칭용으로 구성
플라즈마는 13.56MHz
드라이 펌프 (에드워즈 IQDP80),
드라이 펌프 (에드워즈 IH80-MK5)
냉각기 (RISSHI μEX-1102), 냉각기 (NESLAB M75)
스크롤 펌프 (BUSCH F0 0030 B 0H0..XX)
취급 설명서, 기타 부속품 있음
첨부파일
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