세미 오토 프로버 - 아폴로 웨이브 AP200
제품 사양
메이커 아폴로 웨이브
모델 AP200
카테고리 반도체(후공정)
연식 2023
외부 치수 W1060 D1070 H1550
상태 중고
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 Q20407
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(후공정) 제품, 아폴로 웨이브 AP200입니다. 외형 치수는 W1060 D1070 H1550입니다. 엔잔 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(아폴로 웨이브) 및 동일 카테고리(반도체(후공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
냉각기(AP1263SA), 진공 펌프(DAP-6D),
온도 컨트롤러
대응 웨이퍼 사이즈:~8 인치
XY축 이동량:±50mm
제어 분해능 : 1um 재현성 : ± 2um 이내
정밀도:±10um 이내 이동 속도:30mm/sec(Max)
Z축 이동량:14mm 분해능:1um 재현성:2um 이내
이동 속도: 25mm/sec(Max)
스테이지 Z축 이동 속도:25㎜/sec(Max)
θ축 이동량:±6deg 제어 분해능:0.001deg
회전 속도:1deg/sec(Max)
CCD 렌즈 : 수광 소자 크기 : 1/1.8
배율 : 1, 2, 4, 8 배 조명 : LED 동축 낙사 (조광 포함)
그 외 부속:5Pin+1ES 프로브 카드, 동축 케이블,
프로브 삽입 지그 세트, 프로브 바늘(TN-10),
동축 프로브 홀더(74CJ-APT-KS/05)×2,
온도 컨트롤러 치수: W450 D480 H1120
냉각기 치수: W600 D1150 H1500
첨부파일
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