건식 에칭 장치(고밀도) - 아넬바 L-310R-E
제품 사양
메이커 아넬바
모델 L-310R-E
연식 1999
외부 치수
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 F42708
기계 사양
ECR 소스 유형
자료 사이즈 100mm(부정형) 배치식
에칭 성능 80mm/min 이상
정밀도 Φ80mm내에서 5%(Sio2의 경우)
첨부파일
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