干法刻蚀设备(高密度) - 阿内尔瓦 L-310R-E
产品规格
制造商 阿内尔瓦
型号 L-310R-E
年份 1999
外部尺寸
展厅信息
展示厅 缘山技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 F42708
机器规格
ECR源类型
文件尺寸100mm(不规则形状)批量类型
蚀刻性能80mm/min以上
Φ80mm内精度5%(SiO2)
依恋
※ 点击下方图片可放大。
制造商 阿内尔瓦
型号 L-310R-E
年份 1999
外部尺寸
展示厅 缘山技术中心
价格 询价
咨询号码 F42708
机器规格
ECR源类型
文件尺寸100mm(不规则形状)批量类型
蚀刻性能80mm/min以上
Φ80mm内精度5%(SiO2)
依恋
※ 点击下方图片可放大。