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干法蚀刻设备 - 阿内尔瓦 L-201D-L

产品规格

制造商 阿内尔瓦

型号 L-201D-L

年份 1998

外部尺寸 20002000x1900

展厅信息

展示厅 都留技术中心

价格与咨询

价格 询价

咨询号码 I20137

库存确认 · 咨询

机器规格

2室结构（蚀刻室+负载锁定室）

处理基板数量：1 Φ3”基板/批次 单晶圆转移

蚀刻速度300A/min以上材质SiO2

依恋

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阿内尔瓦 L-201D-L 干法蚀刻设备 - ASKINDEX 코리아

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