기계 사양
외형 치수: W880 D600 H150
입력:1φ200V 50/60Hz 110/130W 09099-79
0.1~0.15μ 99.999% 10?/min
총수:7대
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외형 치수: W880 D600 H150
입력:1φ200V 50/60Hz 110/130W 09099-79
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