干法蚀刻设备 - 东京应化工业 TCE-3822

Name: 东京应化工业 TCE-3822 干法蚀刻设备
Brand: 东京应化工业
SKU: I70530
Availability: InStock
Rating: 4.8 (127 reviews)

产品规格

制造商东京应化工业

型号 TCE-3822

年份 2011

外部尺寸

展示厅九州技术中心

价格询价

咨询号码 I70530

机器规格

序列号 T-1108729

电源：3相200V 125A 60Hz

1/2：刻蚀设备主体，兼容Φ125晶圆，2个石英腔体

2/2：控制架 KYOSAN 配套控制器（MAK5） 1KWRF 电源漏水检测器（WR-NA）

干泵单独出售

*印刷电路板不良（需要维修或更换）

依恋

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