peralatan sputtering - Showa vakum SPH-2207-RF
Spesifikasi Produk
Pembuat Showa vakum
Model SPH-2207-RF
Tahun 2008
Ukuran eksternal
Informasi Showroom
Showroom Pusat Teknis Kyushu
Harga & Konsultasi
Harga Permintaan harga
Nomor kontak I70643
Spesifikasi mesin
Ukuran sasaran: 126mm x 178mm x 6t
Jumlah target: 1, ukuran papan: φ3 inci
Jumlah papan yang dapat dipasang: 4 x 10
Catu daya untuk sputtering: Catu daya RF
Suhu pemanasan dasar: MAX150℃
Dimensi luar mesin ini: W2500D1100H1850
[Nomor manajemen: I70643] SPH-2207-RF Showa Vacuum
Catu daya 3 fasa 200V 50/60Hz 23,8KVA
Tekanan tertinggi: Ruang bongkar/muat 1,0×10-3Pa atau kurang Ruang sputtering 1,0×10-3Pa atau kurang Bahan sputtering Ag,
Kecepatan penyampaian selama sputtering 100~1000mm/menit
Dimensi eksternal: Mesin ini W2500D1100H1850
Rak catu daya W640D800H1850, dimensi target 126mm x 178mm x 6t, suhu pemanasan papan MAX 150℃
lampiran
※ Klik gambar di bawah ini untuk memperbesar.
