อุปกรณ์สปัตเตอร์ - โชว่า สุญญากาศ SPH-2207-RF
ข้อมูลจำเพาะสินค้า
ผู้ผลิต โชว่า สุญญากาศ
รุ่น SPH-2207-RF
ปีที่ผลิต 2008
ขนาดภายนอก
ข้อมูลห้องแสดงสินค้า
ห้องแสดงสินค้า ศูนย์เทคนิคคิวชู
ราคาและการสอบถาม
ราคา สอบถามราคา
หมายเลขติดต่อสอบถาม I70643
ข้อมูลจำเพาะทางกล
ขนาดเป้าหมาย: 126 มม. x 178 มม. x 6 ตัน
จำนวนเป้าหมาย: 1 ขนาดกระดาน: φ3 นิ้ว
จำนวนบอร์ดที่สามารถติดตั้งได้: 4 บอร์ด x 10
แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์: แหล่งจ่ายไฟ RF
อุณหภูมิความร้อนฐาน: สูงสุด 150 ℃
ขนาดภายนอก: W2500D1100H1850
[หมายเลขควบคุม: I70643] เครื่องดูดฝุ่น Showa SPH-2207-RF
แหล่งจ่ายไฟฟ้า: 3 เฟส 200V 50/60Hz 23.8KVA
แรงดันสูงสุด: ห้องขนถ่าย/ขนถ่าย 1.0×10?3 Pa หรือน้อยกว่า, ห้องสปัตเตอร์ 1.0×10?3 Pa หรือน้อยกว่า, วัสดุสปัตเตอร์ Ag,
ความเร็วในการขนส่งสปัตเตอร์: 100-1,000 มม. / นาที
ขนาดภายนอก: ยูนิตหลัก W2500D1100H1850
ชั้นวางไฟฟ้า W640D800H1850 ขนาดเป้าหมาย 126 มม. x 178 มม. x 6 ตัน อุณหภูมิความร้อนของพื้นผิวสูงสุด 150°C
ไฟล์แนบ
※ คลิกที่รูปภาพด้านล่างเพื่อขยาย
