溅射设备 - 昭和真空 SPH-2207-RF
产品规格
制造商 昭和真空
型号 SPH-2207-RF
年份 2008
外部尺寸
展厅信息
展示厅 九州技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 I70643
机器规格
目标尺寸：126mm x 178mm x 6t
靶材数量：1个，板尺寸：φ3英寸
可安装板数：4 x 10
溅射电源：射频电源
基础加热温度：MAX150℃
本机外形尺寸：W2500D1100H1850
【管理编号：I70643】SPH-2207-RF昭和真空
电源 三相200V 50/60Hz 23.8KVA
极限压力：装载/卸载室1.0×10-3Pa以下溅射室1.0×10-3Pa以下溅射材料Ag、
溅射时输送速度 100~1000mm/min
外形尺寸：本机W2500D1100H1850
电源架W640D800H1850，目标尺寸126mm x 178mm x 6t，板加热温度MAX 150℃
依恋
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