干法刻蚀设备（高密度） - 超真空 NE-730

Name: 超真空 NE-730 干法刻蚀设备（高密度）
Brand: 超真空
SKU: K30154
Availability: InStock
Rating: 4.8 (127 reviews)

产品规格

制造商超真空

型号 NE-730

年份 2002

外部尺寸 (本体)1700 x1300 xH1600

展示厅九州技术中心

价格询价

咨询号码 K30154

机器规格

板材尺寸：Φ8寸

【气体】

O2,Ar:：各100SCCM

CHF3、C4F8、CF4：各 50SCCM

【电源】：ANTRNNA：RF500W，BIAS：RF200W

[批量/单片晶圆]：装载锁型

【基板夹持方式】：机械卡盘

【配件】

・废气处理设备

・干泵 PDR-060C x 2 点

・冷水机RISSHI CS-400SW

依恋

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