溅射设备 - 佳能阿内尔瓦 C-7010C
产品规格
制造商 佳能阿内尔瓦
型号 C-7010C
年份 2005
外部尺寸 3000x3600x2350
展厅信息
展示厅 九州技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 L70637
机器规格
单晶圆型 1C2T 4 英寸 x 2 片 12 层
配备4个磁性阴极
直流功率 2.5KW 射频功率 1,2KW
3φ200V 100 50/60Hz
依恋
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