스퍼터 장치 - 아넬바 L-430S-FH
제품 사양
메이커 아넬바
모델 L-430S-FH
연식 1999
외부 치수
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 N20560
기계 사양
캐소드：φ4 인치 x 3기
스퍼터 방식：고주파(RF)1.2kW / 직류(DC)2.5kW
기판 가열: Max250℃
입력 전원: 3φAC200V 50/60Hz 75A
첨부파일
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