二维膜厚分布测量装置 - JFE 技术研究 FiDiCa（フィディカ）

Name: JFE 技术研究 FiDiCa（フィディカ） 二维膜厚分布测量装置
Brand: JFE 技术研究
SKU: N70115
Availability: InStock
Rating: 4.8 (127 reviews)

产品规格

制造商 JFE 技术研究

型号 FiDiCa（フィディカ）

年份 2016

外部尺寸 W1590 D990 H1750

展示厅缘山技术中心

价格询价

咨询号码 N70115

机器规格

测量对象：半导体、薄膜、液膜

样品尺寸：A3（300mm×400mm）

膜厚测量范围：100nm至150um

测量分辨率：几纳米

测量原理：分光干涉法、1轴扫描

测量时间：约90秒

依恋

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