薄膜应力测量装置 - 东邦科技 FLX-2320-S

Name: 东邦科技 FLX-2320-S 薄膜应力测量装置
Brand: 东邦科技
SKU: NC0202
Availability: InStock
Rating: 4.8 (127 reviews)

产品规格

制造商东邦科技

型号 FLX-2320-S

年份

外部尺寸 W565 D450 H470

展示厅缘山技术中心

价格询价

咨询号码 NC0202

机器规格

仅主机（无激光激活键）

板尺寸：3-8英寸

温度范围：室温至500℃

升温速率：最大25℃/分钟

测量重复性：1σ=1.3MPa

（对于725μm厚的Si基板上的1μm氧化膜）

电源：单相200V 50/60Hz 15A

依恋

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