Thiết bị khắc - Albuck CE-L
Thông số kỹ thuật sản phẩm
Người sản xuất Albuck
Mô hình CE-L
Năm sản xuất 2013
Kích thước bên ngoài W800 D2550 H1400
Thông tin phòng trưng bày
Phòng trưng bày Trung tâm kỹ thuật Kyushu
Giá cả và liên hệ
Giá Yêu cầu giá
Số liên lạc NC0854
機械仕様6インチトレイ(対応基板140mm以内)/5枚
プロセス室W750 D500 H150m RIEプラズマ方式
カソードカップリングタイプ・電極直置きタイプ
RF電源:300W 3φ 200V 50/60HZ 使用ガス:Ar,O2,SF6
添付ファイル
※ Nhấp vào hình ảnh bên dưới để phóng to.
