蚀刻设备 - 超真空 CE-L
产品规格
制造商 超真空
型号 CE-L
年份 2013
外部尺寸 W800 D2550 H1400
展厅信息
展示厅 九州技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 NC0854
机器规格
6寸托盘（兼容140mm以内板）/5个
处理室 W750 D500 H150m RIE 等离子法
阴极耦合型/电极直接安装型
射频电源：300W 3φ 200V 50/60HZ 使用气体：Ar、O2、SF6
依恋
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