自动旋涂机 - 能够(微型技研) NSC-220H
产品规格
制造商 能够(微型技研)
型号 NSC-220H
年份
外部尺寸 WW1400D1400H1700
展厅信息
展示厅 九州技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 O51224
机器规格
兼容作品:3英寸
【作品】
・2个HMDS涂层装置
・1个热板
・1个冷却板
杯径: φ220mm
样品台:φ30mm
转速范围:30-5000rpm
化学液体喷嘴:摆动喷嘴
化学系统:5个系统(抗蚀剂x 2冲洗x 1 HMDS x 2)
热板:150x150xt20
电源:三相200V 30KVA
需要单独的排气设备(5个系统)
化学溶液柜尺寸:W1750D300H1000
脚轮重
依恋
※ 点击下方图片可放大。