曝光装置（掩模对准器） - 佳能 MPA-500FAb
产品规格
制造商 佳能
型号 MPA-500FAb
年份
外部尺寸 W1500 D1600 H2000
展厅信息
展示厅 九州技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 O60633
机器规格
光罩：100mm(4")125mm(5")150mm(6")
晶圆尺寸：3" 4" 5"
对准范围
物镜 10X 目镜 10X 15X 可变放大倍率 1X 2X 3X 低放大倍率 0.3X
实际视场角30mm至100mm
3φ200V 50/60Hz 5600VA
依恋
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