스퍼터 장치
메이커 알백
모델 SH-450
연식 1995
외부 치수 W1900D1400H1800
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O60881
기계 사양
전원 3상 200V, 33.2 kvA
스퍼터링 방식 : 업 타겟
치수 Φ152.4㎜×t6
기판 장착 매수 □4”,Φ4”,Φ3”
기판용 서브홀더 총 5개/배치
기판 전극 Φ450㎜
수냉 턴테이블
RF 전원 13.56MHz
출력 2.0㎾
DC 전원 4㎾
MFC(Ar,N2,O2,H2)
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