수정 발진식 성막 컨트롤러
메이커 알백
모델 CRTM-6000
연식
외부 치수 W240 D350 H100
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O60943
기계 사양
전원: 100V 50/60Hz
막 두께 · 레이트 분해능
0.04Å(5MHz 크리스탈)
0.03Å(6MHz 크리스탈)
막 두께 표시 범위/표시 분해능
0.001~999.9kÅ /1Å
증착 속도 표시 범위/표시 분해능
0.1~999.9Å/s /0.1Å/s
대응 센서 주파수
5MHz, 6MHz
장착 가능 센서 수 1
샘플링 속도 125ms
다층막수 99층
입금 프로그램 수 30
디지털 입/출력
8ch 고정/12ch 프로그래머블
아날로그 출력
POWER, RATE, THK 중 하나 선택
첨부파일
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