스핀 코터
메이커 미카사
모델 MS-B100
연식 2022
외부 치수 W260 D340 H245
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 OB0259
기계 사양
회전 도포식
부속품:Φ4in용,Φ2in용 척 테이블
액세서리 : 다이어프램 펌프 (DAP-12S)
최대 기판 크기 : φ4 인치 웨이퍼 또는 75 × 7mm 기판
사용 진공압:-0.08~-0.1MPa
회전수:20~8,000rpm
스핀실 내경 : φ220mm, 컵 테프론 코트 처리
전원:AC100-240V 50/60Hz 5A
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