스퍼터 장치
메이커 캐논 아넬바
모델 E-400
연식 2006
외부 치수 W1450 D1600 H1900
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 P10330
기계 사양
성막 치수:Maxφ200mm
타겟 치수:φ101mm
기판 가열: Max300℃
DC 전원 : 2.5kWRF 전원 : 1.2kW
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz 100A
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