기계 사양
컨트롤러(U-HSTR2), CCD 카메라(L-837) 포함
접안 렌즈:SWH10X-H/26.5
대물 렌즈 : M Plan FL Nx5 / x10 / x20
LM Plan FL N x50/x100
스테이지:8×8인치
전원:AC100-120/220-240V 1.9/0.9A 50/60Hz
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기계 사양
컨트롤러(U-HSTR2), CCD 카메라(L-837) 포함
접안 렌즈:SWH10X-H/26.5
대물 렌즈 : M Plan FL Nx5 / x10 / x20
LM Plan FL N x50/x100
스테이지:8×8인치
전원:AC100-120/220-240V 1.9/0.9A 50/60Hz
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