스퍼터 장치
메이커 캐논 아넬바
모델 E-400S
연식 2007
외부 치수 W1500 D1700 H2450
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 P20476
기계 사양
부속품:칠러(HRS050-A-20-B)/진공 펌프(2033SD)
성막 사이즈:φ200mm
φ4형 플레이너 마그네트론 캐소드 4기
기판 가열: Max800℃
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz
첨부파일
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