스퍼터 장치
메이커 아프티
모델 AFTEX-6000
연식 1998
외부 치수 W2800 D1400 H1900
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 P20477
기계 사양
부속품:칠러(HRS050-A-20-B)/진공 펌프(어니스트 이와타 스크롤 x2대)
성막 크기: 3 인치
ECR 스퍼터 소스 2기 + 마그네트론 스퍼터 소스 1기
기판 가열: Max400℃
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz
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