기계 사양
부속 진공 펌프:GHD-031A
시료실 사이즈:내경 86x깊이 100mm
시료대 사이즈:φ70mm
타겟 전극:φ20mm
전원:AC90-120V 50/60Hz
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기계 사양
부속 진공 펌프:GHD-031A
시료실 사이즈:내경 86x깊이 100mm
시료대 사이즈:φ70mm
타겟 전극:φ20mm
전원:AC90-120V 50/60Hz
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