기계 사양
챔버 치수:φ130 H100
타겟:φ50mm 시료대:φ52mm
전원:AC100V
부속품:로터리 펌프(GLD-136), 그 외 비품
펌프 치수: W170 D470 H310
펌프 무게: 26kg
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기계 사양
챔버 치수:φ130 H100
타겟:φ50mm 시료대:φ52mm
전원:AC100V
부속품:로터리 펌프(GLD-136), 그 외 비품
펌프 치수: W170 D470 H310
펌프 무게: 26kg
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