Peralatan etsa ICP - Produk Presisi Sumitomo MUC-21-036
Spesifikasi Produk
Pembuat Produk Presisi Sumitomo
Model MUC-21-036
Tahun 2004
Ukuran eksternal
Informasi Showroom
Showroom Pusat Teknis Enzan
Harga & Konsultasi
Harga Permintaan harga
Nomor kontak Q20313
Spesifikasi Mekanis
Ruang proses dikonfigurasi untuk etsa parit Si.
Plasma memiliki frekuensi 13,56 MHz.
Pompa kering (Edwards IQDP80),
Pompa kering (Edwards IH80-MK5)
Pendingin (RISSHI μEX-1102), Pendingin (NESLAB M75)
Pompa gulir (BUSCH F0 0030 B 0H0..XX)
Buku petunjuk dan aksesori lainnya disertakan.
Lampiran
※ Klik gambar di bawah ini untuk memperbesar.
