ICP 에칭 장치 - 스미토모 정밀 공업 MUC-21-036
제품 사양
메이커 스미토모 정밀 공업
모델 MUC-21-036
연식 2004
외부 치수
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 Q20313
기계 사양
공정 챔버는 Si 트렌치 에칭용으로 구성
플라즈마는 13.56MHz
드라이 펌프 (에드워즈 IQDP80),
드라이 펌프 (에드워즈 IH80-MK5)
냉각기 (RISSHI μEX-1102), 냉각기 (NESLAB M75)
스크롤 펌프 (BUSCH F0 0030 B 0H0..XX)
취급 설명서, 기타 부속품 있음
첨부파일
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