ICP蚀刻设备 - 住友精密产品 MUC-21-036
产品规格
制造商 住友精密产品
型号 MUC-21-036
年份 2004
外部尺寸
展厅信息
展示厅 缘山技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 Q20313
机械规格
该工艺腔室配置用于硅沟槽刻蚀。
等离子体频率为 13.56MHz
干式泵（Edwards IQDP80），
干式泵（Edwards IH80-MK5）
冷水机（RISSHI μEX-1102），冷水机（NESLAB M75）
涡旋泵（BUSCH F0 0030 B 0H0..XX）
附带使用说明书及其他配件
附件
※ 点击下方图片可放大。
