세미 오토 프로버 - 아폴로 웨이브 AP200
제품 사양
메이커 아폴로 웨이브
모델 AP200
연식 2023
외부 치수 W1060 D1070 H1550
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 Q20407
기계 사양
냉각기(AP1263SA), 진공 펌프(DAP-6D),
온도 컨트롤러
대응 웨이퍼 사이즈:~8 인치
XY축 이동량:±50mm
제어 분해능 : 1um 재현성 : ± 2um 이내
정밀도:±10um 이내 이동 속도:30mm/sec(Max)
Z축 이동량:14mm 분해능:1um 재현성:2um 이내
이동 속도: 25mm/sec(Max)
스테이지 Z축 이동 속도:25㎜/sec(Max)
θ축 이동량:±6deg 제어 분해능:0.001deg
회전 속도:1deg/sec(Max)
CCD 렌즈 : 수광 소자 크기 : 1/1.8
배율 : 1, 2, 4, 8 배 조명 : LED 동축 낙사 (조광 포함)
그 외 부속:5Pin+1ES 프로브 카드, 동축 케이블,
프로브 삽입 지그 세트, 프로브 바늘(TN-10),
동축 프로브 홀더(74CJ-APT-KS/05)×2,
온도 컨트롤러 치수: W450 D480 H1120
냉각기 치수: W600 D1150 H1500
첨부파일
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