Pencari semi-otomatis - Gelombang Apollo AP200
Spesifikasi Produk
Pembuat Gelombang Apollo
Model AP200
Tahun 2023
Ukuran eksternal W1060 D1070 H1550
Informasi Showroom
Showroom Pusat Teknis Enzan
Harga & Konsultasi
Harga Permintaan harga
Nomor kontak Q20407
Spesifikasi Mekanis
Pendingin (AP1263SA), pompa vakum (DAP-6D),
Pengontrol Suhu
Ukuran wafer yang didukung: hingga 8 inci
Pergerakan sumbu XY: ±50mm
Resolusi kontrol: 1µm Pengulangan: dalam ±2µm
Akurasi: Dalam ±10um Kecepatan pergerakan: 30mm/detik (Maks)
Pergerakan sumbu Z: 14 mm Resolusi: 1 µm Pengulangan: dalam 2 µm
Kecepatan pergerakan: 25 mm/detik (Maks)
Kecepatan pergerakan sumbu Z meja putar: 25 mm/detik (Maks)
Jumlah pergerakan sumbu θ: ±6 derajat Resolusi kontrol: 0,001 derajat
Kecepatan rotasi: 1 derajat/detik (Maks)
Lensa CCD: Ukuran fotodetektor: 1/1.8
Pembesaran: 1, 2, 4, 8 kali Pencahayaan: Lampu insiden koaksial LED (dengan peredupan)
Aksesoris lainnya: kartu probe 5Pin+1ES, kabel koaksial,
Set alat bantu pemasangan probe, jarum probe (TN-10),
Dudukan probe koaksial (74CJ-APT-KS/05) x 2,
Dimensi pengontrol suhu: Lebar 450 cm, Kedalaman 480 cm, Tinggi 1120 cm
Dimensi pendingin: Lebar 600 cm, Kedalaman 1150 cm, Tinggi 1500 cm
Lampiran
※ Klik gambar di bawah ini untuk memperbesar.
