Máy dò bán tự động - Sóng Apollo AP200

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Người sản xuất Sóng Apollo

Mô hình AP200

Năm sản xuất 2023

Kích thước bên ngoài W1060 D1070 H1550

Phòng trưng bày Trung tâm kỹ thuật Enzan

Giá Yêu cầu giá

Số liên lạc Q20407

Thông số kỹ thuật cơ khí

Máy làm lạnh (AP1263SA), bơm chân không (DAP-6D),

Bộ điều khiển nhiệt độ

Kích thước wafer được hỗ trợ: lên đến 8 inch

Khoảng dịch chuyển trục XY: ±50mm

Độ phân giải điều khiển: 1µm Độ lặp lại: trong phạm vi ±2µm

Độ chính xác: Trong phạm vi ±10µm Tốc độ di chuyển: 30mm/giây (Tối đa)

Hành trình trục Z: 14mm Độ phân giải: 1um Độ lặp lại: trong vòng 2um

Tốc độ di chuyển: 25mm/giây (Tối đa)

Tốc độ di chuyển trục Z của bàn máy: 25 mm/giây (Tối đa)

Góc dịch chuyển trục θ: ±6 độ Độ phân giải điều khiển: 0,001 độ

Tốc độ quay: 1 độ/giây (Tối đa)

Ống kính CCD: Kích thước bộ cảm biến quang: 1/1.8

Độ phóng đại: 1, 2, 4, 8 lần. Ánh sáng: Đèn LED chiếu đồng trục (có chức năng điều chỉnh độ sáng).

Các phụ kiện khác: Card dò 5Pin+1ES, cáp đồng trục,

Bộ dụng cụ định vị đầu dò, kim đầu dò (TN-10),

Giá đỡ đầu dò đồng trục (74CJ-APT-KS/05) x 2,

Kích thước bộ điều khiển nhiệt độ: Rộng 450 x Sâu 480 x Cao 1120

Kích thước tủ lạnh: Rộng 600 x Sâu 1150 x Cao 1500

Tệp đính kèm

Đang tải hình ảnh...

※ Nhấp vào hình ảnh bên dưới để phóng to.