半自动探针 - 阿波罗浪潮 AP200
产品规格
制造商 阿波罗浪潮
型号 AP200
年份 2023
外部尺寸 W1060 D1070 H1550
展厅信息
展示厅 缘山技术中心
价格与咨询
价格 询价
咨询号码 Q20407
机械规格
冷却器（AP1263SA），真空泵（DAP-6D），
温度控制器
支持的晶圆尺寸：最大 8 英寸
XY轴行程：±50mm
控制分辨率：1μm；重复性：±2μm以内
精度：±10微米以内；行进速度：30毫米/秒（最大）
Z轴行程：14毫米；分辨率：1微米；重复精度：2微米以内
行进速度：25毫米/秒（最大）
工作台Z轴移动速度：25毫米/秒（最大）
θ轴移动量：±6度；控制分辨率：0.001度
旋转速度：1度/秒（最大）
CCD镜头：光电探测器尺寸：1/1.8
放大倍数：1倍、2倍、4倍、8倍；照明方式：LED同轴入射光（带调光功能）
其他配件：5针+1ES探针卡、同轴电缆
探针插入夹具套装，探针针（TN-10），
同轴探针支架（74CJ-APT-KS/05）× 2，
温度控制器尺寸：宽450厘米，深480厘米，高1120厘米
冷水机尺寸：宽600厘米，深1150厘米，高1500厘米
附件
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