막 두께계 촉침식 단차 측정 장치
메이커 KLA Tencor KLA 텐콜
모델 AS-500
연식
외부 치수
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 XCCP51
기계 사양
스캔 길이: 10mm
스캔 속도 : 2μm / sec ~ 25mm / sec
입력:AC100V 50Hz 4A
Air:4~7kg/cm2
반도체 웨이퍼 등의 거칠기, 굴곡, 단차를 측정하는 장치 취급 설명서 약간 빠져 있음
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